安徽天康擴散硅壓力變送器的主要作用及原理
更新時間:2015-09-09 點擊次數:1749
一、
安徽天康擴散硅壓力變送器的主要作用:
安徽天康擴散硅壓力變送器的被測介質的兩種壓力通入高、低兩壓力室,低壓室壓力采用大氣壓或真空,作用在δ元件(即敏感元件)的兩側隔離膜片上,通過隔離片和元件內的填充液傳送到測量膜片兩側。壓力變送器是由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。當兩側壓力不一致時,致使測量膜片產生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側電容量就不等,通過振蕩和解調環節,轉換成與壓力成正比的信號。
二、安徽天康擴散硅壓力變送器的工作原理:
壓力變送器的核心是一個擴散硅敏感元件,它是在硅基片上采用離子注入并經激光修正制成惠斯登電橋,過程壓力作用于傳感器的隔離膜片上使膜片產生位移,通過膜盒內的硅油壓力傳遞到硅基片上,同時參考端的壓力(大氣壓、絕壓或密封壓)作用于硅片的另一測,這樣在硅片的兩邊就加上了一個差壓,差壓在硅片上產生了一個應力場,使惠斯登電橋的四支電阻,有兩支因拉伸而阻值變小,另外兩支因壓縮而阻值變大,變化量為ΔR,橋臂阻值的變化使電橋失去平衡這樣就產生了一個與壓力成正比的電壓輸出信號。